真空泵是指利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。
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?、殴ぷ鲿r產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
?、屏私獗怀闅怏w成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選型時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
⑶在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
?、扔捎谄溆羞x擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的不能在大氣壓下工作，需要預真空;有的出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
?、烧婵赵O備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
?、拭糠N泵都有一定的工作壓強范圍，
?、吮门懦鰜淼挠驼魵鈱Νh(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油的類型，或者把油蒸氣排到室外。
?、唐涔ぷ鲏簭姂摑M足真空設備的極限真空及工作壓強要求。
